1D-basierte Sensoren für Gase und Magnetfelder – 1D-SENSE

Zur Entwicklung hochsensitiver Sensoren mit integrierten Nano-Objekten wurde im Herbst 2014 im Rahmen der Förderinitiative 1D-Elektronik des BMBF das gemeinsame Forschungsprojekt „1D-SENSE“ (1D-basierte Sensoren für Gase und Magnetfelder, FKZ: 16ES0289K) der Technischen Universität Darmstadt, der Technischen Universität Ilmenau und der Technischen Universität Hamburg-Harburg zur Entwicklung von chemischen und Magnetfeldsensoren bewilligt. Das Funktionsprinzip der Sensoren beruht auf Effekten, die erst bei eindimensionalen Objekten mit Abmessungen im Nanometerbereich auftreten. Die langjährige Expertise der Projektpartner bei der Synthese solch winziger Nanodrähte soll in diesem Projekt genutzt werden, um hochsensible Sensoren für chemische und magnetische Messgrößen zu entwickeln. Eine waferlevel kompatible Anbindung des Nanomaterials über ein Mikrosystem an die makroskopische Anwendungsumgebung stellt eine spätere Umsetzung des Messelements in eine wirtschaftliche technische Lösung sicher. Durch die assoziierten Partner EADS und Sensitec werden bereits während des Projektes die Sensoren in wirklichkeitsnahen Szenarien getestet und charakterisiert. Dies begünstigt eine schnelle Überführung in das industrielle Umfeld während und nach dem Projekt. Neben der Entwicklung des Messelementes finden auch das Packaging und die Integration der Auswerteelektronik ihren Platz innerhalb des Projektes. „1D-SENSE“ greift damit über Forschung und Laborversuche weit hinaus: Am Ende der Projektlaufzeit soll ein praxiskompatibles und anwendungstaugliches Gesamtpaket stehen, so dass zum Projektende weit mehr als nur ein Laborversuch entstanden ist.

Stichworte

• Atomlagenabscheidung
• Sensorik