FEM4MEMS

Die Zielstellung des Vorhabens besteht darin, den FEM-Solver PolyDE der TU Hamburg-Harburg auf die Berechnung eines piezoresistiven Silizium-Drucksensors, wie er im CiS gefertigt wird, anzuwenden, um das Sensorverhalten durch gekoppelte Simulation der mechanischen, thermischen und halbleiterelektronischen Wechselwirkung zu bestimmen. Ziel der Arbeiten ist ein Konzept für eine durchgängige Berechnung der Sensorkennlinie unter vollständiger Kopplung mechanischer, thermischer und halbleiterelektronischer Berechnung, ohne dass ein expliziter Datentransfer durch den Simulierenden von einem Programmsystem in ein anderes vorzunehmen ist. Insbesondere soll dabei evaluiert werden, ob in der Berechnung der Kennlinien des piezoresistiven Silizium-Drucksensors Ungenauigkeiten beseitigt werden können, die im bisherigen Design-Flow durch die manuelle Übertragung von Daten zwischen den Simulatoren entstehen.

Stichworte

• FEM
• Multiphysik-Modellierung