Mikro-Nano-Integration

Stichworte

• Mikrosystemtechnik

Publikationen

• Amthor, J.; Horn, O.; Gong, L.; Lipka, T.; Trieu, H.K.; Müller, J., GMM; VDI/VDE-IT: Polarisationsunabhängige SOI-Wellenleiter und integrierte SOI-Polarisationsdreher. In MikroSystemTechnik Kongress 2013 - Von Bauelementen zu Systemen, Oktober 2013.
• Lipka, T.; Amthor, J.; Trieu, H.K.; Müller, J.: Travelling wave resonators fabricated with low-loss hydrogenated amorphous silicon. In Proc. SPIE 8767, Integrated Photonics: Materials, Devices, and Applications II (2013) 876707 , Mai 2013.
• Lipka, T.; Amthor, J.; Trieu, H.K.; Müller, J.: On-chip Biosensing with high-Q Amorphous Silicon Microdisk Resonators Proceedings AMA Conferences 2013 - SENSOR 2013, OPTO 2013, IRS 2 2013, Mai 2013.