Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung eines neuartigen, chemisch und mechanisch robusten paramagnetischen Sauerstoffsensors in Mikrosystemtechnik in Silizium-Glas-Technik. Das System beruht darauf, dass das magnetischen Streufeld am Rande eines vom sauerstoffhaltigen Messgas durchflossenen Mikrokanals, der im Spalt eines magnetischen Kreises liegt, mit einem Magnetfeldsensor bestimmt wird in Relation zu dem Streufeld in einem unmagnetischen Spalt identischer Dimension. Dieser ist z. B. gefüllt mit Silizium oder einem hermetische verschlossenen Kanal gefüllt mit einem Medium mit bekannter Permeabilität. Das Magnetfeld kann z. B. durch einen kleinen Dauermagneten (z. B. AlNiCo) bereitgestellt werden, der hybride in ebenfalls durch mikrotechnische Verfahren exakt ausgerichtete Nickel-Strukturen eingesetzt wird, die den magnetischen Kreis um Kanal- und Referenzstruktur bilden.  Zur Signalerfassung und -auswertung wird eine hochempfindliche Elektronik entwickelt ebenso wie eine geeignete Anschlusstechnik für Elektronik und Messgas. Unter Bereitstellung einer applikationsnahen Messumgebung wird der so erstellter Demonstrator charakterisiert.