Institut für Mikrosystemtechnik
Institut für Mikrosystemtechnik
DE
EN
DE
EN
Startseite
Forschung
Forschung
Forschung
Forschung
Photonische Biosensoren
SPLASHH
ForLab HELIOS
Forschungsberichte
Publikationsliste
Technologie
Technologie
Technologie
Technologie
Neuanschaffungen (aus Forlab/Helios)
Photolithographie
Abscheideverfahren
Strukturierungs-verfahren
Probenbearbeitung
Aufbau- und Verbindungstechnik
Reinraum
Analytik
Lehre
Lehre
Lehre
Lehre
Stud.IP
Studentenarbeiten
Mitarbeiter
Aktuelles
MST >
Technologie >
Analytik
Analytik
Mechanische Schichtdickenmessung
Rasterkraftmikroskopie
Kontaktwinkelmessung
Vier-Spitzen-Messplatz
CV-Messplatz
Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS)
REM und TEM
Optische Messtechnik:
Lichtmikroskopie
Laserprofilometer
Messplatz für photonische Si-Wellenleiter
Laser
Ellipsometer