Willkommen im Institut für Mikrosystemtechnik

Über 20 Wissenschaftler und Ingenieure forschen am Institut für Mikrosystemtechnik der TUHH an aktuellen Fragestellungen in den Bereichen Medizintechnik, Mikrosensorik und Lifescience - unterstützt von zahlreichen Studierenden im Rahmen von Studien- und Abschlussarbeiten. Auf über 650 m² Labor- und Reinraumfläche (Klasse ISO2) verfügt das Institut über alle notwendigen Anlagen für die Halbleiter- und Mikrosystemtechnologie.

Mit einer langjährigen Erfahrung in der Prozesstechnologie können unsere Ingenieure sehr flexibel auf besondere Systemanforderungen reagieren und individuell angepasste Lösungen entwickeln. Neben der Standard-Si-Technologie und dem Einsatz von DRIE sowie der Verwendung von Glaswafern für die Mikrofluidik prägt der Einsatz von Polymeren zur Herstellung von mechanisch flexiblen Mikrosystemen unser Technologieprofil. Spezielle Anlagen wie der Critical Point Dryer, CMP oder Nanoimprint und eine umfangreiche Analytik runden unsere apparative Ausstattung ab.

 

Mit zunehmender Durchdringung der Mikrosystemtechnik in den alltäglichen Anwendungen werden Systemlösungen anstelle von Komponentenlösungen benötigt. Durch unseren gesamtheitlichen Ansatz von Modellierung, Prozesstechnologie und Systemintegrationstechnik sind wir für diese Anforderung bestens aufgestellt. Neben einer intelligenten Aufbau- und Verbindungstechnik bieten wir Lösungen mit der notwendigen Elektronik und Signalverarbeitung in Hard- und Software. Transponderlösungen wie auch Energiemanagement mit der Möglichkeit zur Energiegewinnung gehören zu unserem F&E-Portfolio.