Wir stellen Ihnen die Technologie des Instituts für Mikrosystemtechnik auf den folgenden Seiten vor.
Die Anlagen und Geräte sind dafür in Kategorien gegliedert:
Neuanschaffungen (aus Forlab/HELIOS)
Photolithographie
Abscheideverfahren
Strukturierungsverfahren
Probenbearbeitung
Aufbau- und Verbindungstechnik
Reinraum
Analytik
