Sputtern
- LH Z550 (weiß)
- 6-Zoll-Targets
- Hochfrequenz und DC
- Rotierendes Sputtern möglich
- LH Z550 (rot)
- 6-Zoll-Targets
- Hochfrequenz und DC
- Reaktives Sputtern möglich
- Substratheizung
- LH Z400
- 3-Zoll-Targets
- Hochfrequenz
- Airco
- 6-Zoll-Targets
- Hochfrequenz
- ZnO und Aluminium-dotiertes ZnO (durchsichtige leitfähige Schichten)
