Institut für Mikrosystemtechnik
Institut für Mikrosystemtechnik
DE
EN
DE
EN
Startseite
Forschung
Forschung
Forschung
Forschung
Photonische Biosensoren
SPLASHH
ForLab HELIOS
Forschungsberichte
Publikationsliste
Technologie
Technologie
Technologie
Technologie
Neuanschaffungen (aus Forlab/Helios)
Photolithographie
Abscheideverfahren
Strukturierungs-verfahren
Probenbearbeitung
Aufbau- und Verbindungstechnik
Reinraum
Analytik
Lehre
Lehre
Lehre
Lehre
Stud.IP
Studentenarbeiten
Mitarbeiter
Aktuelles
MST >
Technologie >
Abscheideverfahren
Plasmapolymerisation
Vacutech
Plasmapolymerisation von HMDS-N und HMDS-O in getrennten Kammern
Verschiedene Substrate
Beheizte Elektroden
3-P-Energy
Plasmapolymerisation von PTFE-ähnlichen Schichten
Verschiedene Substrate
Beheizte Elektroden
