Parylen-Abscheidung
- Labcoater Serie 300 LV 45 von Plasma Parylene Systems (PPS)
- Abscheidung von Parylene-Typen C, F, N und AF4 auf verschiedene Substrate
- Schichtdicken von einigen 100 nm bis mehrere µm
- Optimierung der Schichthaftung durch Plasmavorbehandlung, sowie einen Haftvermittler möglich
