Auf diesen Seiten soll die Technologie des Instituts für Mikrosystemtechnik vorgestellt werden.

Die Anlagen und Geräte sind dafür in folgenden Kategorien gegliedert:

• Neuanschaffungen (aus Forlab/HELIOS)

• Photolithographie 

• Abscheideverfahren

• Strukturierungsverfahren 

• Probenbearbeitung

• Aufbau- und Verbindungstechnik

• Reinraum 

• Analytik