Lehrveranstaltungen in Stud.IP

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Microsystem Engineering (VL)
Untertitel:
This course is part of the module: Microsystem Engineering
Semester:
WiSe 23/24
Veranstaltungstyp:
Vorlesung (Lehre)
Veranstaltungsnummer:
lv680_w23
DozentIn:
Prof. Dr. Thomas Kusserow
Beschreibung:

Object and goal of MEMS

Scaling Rules

Lithography

Film deposition

Structuring and etching

Energy conversion and force generation

Electromagnetic Actuators

Reluctance motors

Piezoelectric actuators, bi-metal-actuator

Transducer principles

Signal detection and signal processing

Mechanical and physical sensors

Acceleration sensor, pressure sensor

Sensor arrays

System integration

Yield, test and reliability

Leistungsnachweis:
610 - Microsystem Engineering<ul><li>610 - Microsystem Engineering: Klausur schriftlich</li></ul><br>m746 - Microsystem Engineering<ul><li>p185 - Microsystem Engineering: Klausur schriftlich</li><li>vl259 - Microsystem Engineering - Presentation: Presentation</li></ul><br>m746-2020 - Microsystem Engineering<ul><li>p185 - Microsystem Engineering: Klausur schriftlich</li><li>vl259 - Microsystem Engineering - Presentation: Presentation</li></ul>
ECTS-Kreditpunkte:
4
Weitere Informationen aus Stud.IP zu dieser Veranstaltung
Heimatinstitut: Institut für Mikrosystemtechnik (E-7)
In Stud.IP angemeldete Teilnehmer: 1
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Microsystem Engineering (VL)
Untertitel:
This course is part of the module: Microsystem Engineering
Semester:
WiSe 23/24
Veranstaltungstyp:
Vorlesung (Lehre)
Veranstaltungsnummer:
lv680_w23
DozentIn:
Prof. Dr. Thomas Kusserow
Beschreibung:

Object and goal of MEMS

Scaling Rules

Lithography

Film deposition

Structuring and etching

Energy conversion and force generation

Electromagnetic Actuators

Reluctance motors

Piezoelectric actuators, bi-metal-actuator

Transducer principles

Signal detection and signal processing

Mechanical and physical sensors

Acceleration sensor, pressure sensor

Sensor arrays

System integration

Yield, test and reliability

Leistungsnachweis:
610 - Microsystem Engineering<ul><li>610 - Microsystem Engineering: Klausur schriftlich</li></ul><br>m746 - Microsystem Engineering<ul><li>p185 - Microsystem Engineering: Klausur schriftlich</li><li>vl259 - Microsystem Engineering - Presentation: Presentation</li></ul><br>m746-2020 - Microsystem Engineering<ul><li>p185 - Microsystem Engineering: Klausur schriftlich</li><li>vl259 - Microsystem Engineering - Presentation: Presentation</li></ul>
ECTS-Kreditpunkte:
4
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Heimatinstitut: Institut für Mikrosystemtechnik (E-7)
In Stud.IP angemeldete Teilnehmer: 1

Lehrveranstaltungen

Informationen zu den Lehrveranstaltungen und Modulen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis und dem Modulhandbuch Ihres Studienganges.

Modul / Lehrveranstaltung Zeitraum ECTS Leistungspunkte
Modul: Elektrische Energiesysteme I: Einführung in elektrische Energiesysteme WiSe 6
Modul: Elektrische Energiesysteme II: Betrieb und Informationssysteme elektrischer Energienetze WiSe 6
Modul: Elektrische Energiesysteme III: Dynamik und Stabilität elektrischer Energiesysteme SoSe 6
Modul: Elektrotechnik II: Wechselstromnetzwerke und grundlegende Bauelemente SoSe 6
Modul: Elektrotechnisches Projektpraktikum SoSe 6
Modul: Prozessmesstechnik SoSe 4
Modul: Smart-Grid-Technologien WiSe, SoSe 6

Lehrveranstaltung: Seminar zu Elektromagnetischer Verträglichkeit und Elektrischer Energiesystemtechnik

weitere Information

WiSe, SoSe 2

SoSe: Sommersemester
WiSe: Wintersemester