Erforschung von elektronenmikroskopischen Verfahren zur Messung der Form von Mikrotastspitzen

Ziel ist die Entwicklung neuer hochauflösender Silizium-Mikrotaster für die Rauheitsmessung. Ausserdem die Erforschung von Verfahren zum Einsatz von Rasterkraftmikroskopen für die flächenhafte Rauheitsmessung und die Erforschung neuer Verfahren zur Bestimmung der Mikroform von Indentern. Bei allen genannten Verfahren ist die genaue Kenntnis der Spitzenform von essentieller Bedeutung. Die BeEM nutzt und entwickelt 3D Messmethoden im Rasterelektronenmikroskop und führt dazu Messungen der 3D-Form von Mikrotastspitzen mit Hilfe eines Rasterelektronenmikroskops (REM) und einem Vierquadranten-Rückstreuelektronen-Detektor (4Q-BSED).